从对喷吹法检漏的分析中可以发现两个减小有效最小可检漏率的途径,其一是提高漏孔处氦浓度γHe,即使γHe→1;另一途径就是增加喷吹时间t。如果γHe=1,t=3τ（反应时间）,那么有效最小可检漏率就基本上接近仪器的最小可检漏率。然而,喷吹时间t和检漏效率是一对矛盾,t的大大增加,意味着检漏效率的大大降低,往往出现几天甚至几十天才能检完一个装置的情况,这是实际生产中不能允许的。为了解决这对矛盾,人们提出了一个设想,如果能用氦罩将器件可疑处全部罩起来,氦罩内充以纯氦气,也就相当于使用无数个喷嘴在无数个可疑部位同时喷吹氦气,这无疑地将大大加快检漏速度。同时由于氦浓度的增加和氦气喷吹时间的延长,其有效最小可检漏率也就减小,这就是要说的“氦罩法”。

氦罩法检漏系统如图所示。检漏时,用辅助泵把被检容器抽空后,关闭辅助阀,打开检漏阀,使被检容器与早已抽到极限真空的质谱检漏仪的质谱室连通。当仪器达到工作压力后,使仪器处于检漏工作状态下,用一个氦气罩(经常用塑料薄膜罩)把被检容器的可疑部位包起来(对体积小的器件就用氦罩将它全都包起来),然后先将罩中空气赶走(有时用泵抽空),再充入氦气,这样可使γHe→1。此时,仪器输出指示如果增大,便表示被氦罩罩住的那一部分存在漏气。仪器所指示的漏率即为被氦罩罩住的区域的总漏率。这种方法的优点是灵敏度高,有效最小可检漏率基本等于仪器的最小可检漏率,适用于总检。其缺点是只能测出所罩部位的总漏率,不能确定漏孔位置。因此,先用此法测定总漏率,若总漏率超出允许范围,再用局部氦罩法或喷吹法找出漏孔的确切位置。